半自動SPM清洗機是一種用于半導體微電子領(lǐng)域的清洗設(shè)備，?主要用于晶圓的清洗處理。?這種設(shè)備適用于多種工藝，?包括但不限于SC-1、?SC-2、?SPM、?BOE等，?能夠清洗不同尺寸的晶圓，?通常從2吋到12吋。?其設(shè)計特點包括鍍鋅碳鋼框架，?外包進口PP、?PVC板，?以及使用石英、?PVDF、?PTFE、?NPP等材質(zhì)的槽體，?確保了設(shè)備的耐用性和清洗效果。?此外，?該設(shè)備還具備高精度的溫控系統(tǒng)，?能夠保證清洗過程中的溫度穩(wěn)定性。?在安全防護方面，?半自動SPM清洗機配備了自動安全門、?漏液報警、?漏電保護、?液位保護、?急停按鈕以及聲光報警系統(tǒng)，?確保操作過程的安全。?
半自動SPM清洗機還采用了模塊化設(shè)計，?能夠滿足客戶對于不同工藝及產(chǎn)能的定制化需求。?通過可編程菜單，?用戶可以方便地操作設(shè)備，?同時設(shè)備的實時流程顯示和強可控性使得生產(chǎn)過程更加透明和可控。?此外，?設(shè)備還支持多級權(quán)限密碼管理，?便于生產(chǎn)管理，?并且能夠自動保存生產(chǎn)數(shù)據(jù)，?實現(xiàn)遠程控制。?在功能方面，?半自動SPM清洗機還具備藥液管理系統(tǒng)（?自動供液、?自動補液、?循環(huán)過濾）?、?在線加熱、?甩干、?電導率檢測、?恒溫系統(tǒng)等，?確保了清洗效果和生產(chǎn)效率。?
清洗能力
6inch 1 cassette/Batch 25Pcs/cassette
工作原理
半自動SPM清洗機的工作原理涉及多種清洗技術(shù)，?包括毛刷清洗、?常壓水清洗、?高壓水清洗、?去膠清洗、?二流體清洗、?兆聲波清洗以及氮氣吹干等。? 這些清洗技術(shù)共同作用，?以確保半導體或其他材料表面的清潔度達到特定的工藝要求。?
1) 毛刷清洗：?通過使用刷子或刷頭對物體表面進行物理清潔，?去除表面的微小顆粒和污染物。
2) 常壓水清洗和高壓水清洗：?通過高壓水流沖擊物體表面，?去除難以附著的污漬和顆粒。
3) 去膠清洗：?利用化學溶劑或方法去除物體表面的膠質(zhì)或其他粘性物質(zhì)。?
4) 二流體清洗：?結(jié)合使用液體和氣體（?通常是水和空氣）?進行清洗，?利用兩者的共同作用去除污漬。?
5) 兆聲波清洗：?利用高頻聲波在液體中產(chǎn)生的微小氣泡崩塌時產(chǎn)生的沖擊波來清潔物體表面。?氮氣吹干：?使用氮氣吹除物體表面殘留的水分或其他液體，?避免留下水痕或殘留物。?
產(chǎn)品優(yōu)勢
半自動SPM清洗機的產(chǎn)品優(yōu)勢主要體現(xiàn)在其多功能性和高效性。?
? 多功能性：半自動SPM清洗機具備多種清洗技術(shù)，?包括毛刷清洗、?常壓水清洗、?高壓水清洗、?去膠清洗、?二流體清洗、?兆聲波清洗等，?這些技術(shù)可以有效地去除硅片表面的有機顆粒和金屬顆粒污染，?確保清洗效果達到用戶要求的效果。?此外，?該清洗機還支持氮氣吹干，?進一步提高了清洗的徹底性和效率。?
? 高效性：本機臺是一個人機界面（觸摸屏/PC）加PLC控制的半自動控制系統(tǒng)，操作者只須將清洗花籃放置在上料工位上，再由PLC控制機械手將花籃輸送到各個工位，按照事先輸入的程序?qū)M行各工藝處理。?這種自動化不僅減少了人工干預，?還降低了運行成本，?提高了生產(chǎn)效率。?
? ?安全性：半自動SPM清洗機還具有高度的安全性能，?在防漏液、?加熱、?漏電等方面都做了嚴格的設(shè)計，?確保了人身和廠務(wù)安全，?為生產(chǎn)提供了穩(wěn)定的保障。?
? 可靠性：本設(shè)備電氣控制部分關(guān)鍵件均采用進口優(yōu)質(zhì)件，性能可靠，使用壽命長；背部設(shè)有吸風口，為防止污染空氣，用戶需外接風管排風。
產(chǎn)品特點
1) 工藝說明：自動傳動，自動方式實現(xiàn)槽體間傳送工件，手臂按照菜單選擇流程作業(yè)，生產(chǎn)部人員選取菜單進行作業(yè)，這個過程自動進行；
2) 自動化控制，工藝過程中沒有人工干預，保證產(chǎn)品性能的一致性；
3) 搬運機械手的前后移動和縱向提升均采用日本伺服馬達，閉環(huán)控制，定位精準≤1mm，可靠性高；采用雙導軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動，幾何曲線加減速運動，沖擊小、運動平穩(wěn)；
4) 搬運機械手臂單獨急停、暫停開關(guān)、系統(tǒng)急停開關(guān)和機械手馬達電機自動過載保護等多重保護，確保操作者的安全；
5) 工藝槽工作區(qū)域與機臺控制外配有安全防護裝置，防止搬運機械手對操作人員的意外損傷；
6) 溢流工藝的應(yīng)用，保證了藥液槽之間的隔離效果和清洗的高潔凈度；
7) 工藝柔性化設(shè)計，工藝更改方便迅速；多工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲；
8) 整機在使用、運行過程中平穩(wěn)、可靠、不產(chǎn)塵、無溢出油污等，需潤滑的零件必須密封處理；
9) 整機采用PLC控制，顯示屏顯示，清洗槽定溫控制，過溫保護及超（兆）聲低液位保護；
10) 整機采用全封閉設(shè)計。設(shè)備運行峰值噪音小且操作、維護和維修方便；
11) 整機耐酸堿溶液及揮發(fā)氣體的腐蝕，電氣元件正常安全使用；
12) 機臺設(shè)有緊急停止回路（EMO急停按鈕），并按照標準設(shè)置接地保護斷路器；
13) 整機前后區(qū)隔離，底板傾斜設(shè)計，便于排液，最低處設(shè)有漏液報警，前后區(qū)域均設(shè)水槍，確保漏液及時沖洗；
14) 清洗槽體及管路配有明顯標識或防錯設(shè)計，防止溶液混用；
15) 設(shè)計合理化的排風管路，使酸堿液揮發(fā)氣體的污染最小化；
16) 設(shè)備內(nèi)部輸水、輸氣管道管線布置于主體設(shè)備內(nèi)部；
17) 工藝溢流槽體都需具有外槽獨立溢流方式，需采用四面溢流；如果無法實現(xiàn)，至少需要三面溢流；
18) 設(shè)備后方、左右兩側(cè)需留有方便維護、維修的窗口；
19) 機臺排風口處安裝排風壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）合計N支；
20) 機臺總進口處（N2或CDA）安裝有壓力監(jiān)測裝置（帶信號報警裝置）；
21) 工藝槽槽底傾斜式，便于排空；
22) 機臺電氣部分具備正壓N2保護，防止腐蝕；
安裝及售后
i. 委派具有豐富的調(diào)試經(jīng)驗、業(yè)務(wù)精湛的技術(shù)人員在用戶工廠現(xiàn)場安裝、調(diào)試設(shè)備。
ii. 為用戶工廠操作工提供培訓，培訓包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序。
iii. 無償提供為期一年的技術(shù)支持與服務(wù)，一年后繼續(xù)提供終身技術(shù)服務(wù)。在質(zhì)保期內(nèi)，提供7*24小時內(nèi)電話支持服務(wù)，24小時到現(xiàn)場反應(yīng)時間。保修期外保證在接到客戶請求維修服務(wù)后24小時內(nèi)到達現(xiàn)場。
iv. 可提供隨機備件、易損品及隨機工具。